원칩 압력 센서
ㆍ확산 실리콘 칩 압력 센서
※양산 장치용, 확산형 반도체 압력 센서
ㆍ스테인리스 diaphragm에 접액부를 완전히 밀봉한 diaphragm 구조를 채용하고 있기 때문에, 각종 유체에 사용 가능합니다.
ㆍ소형, 경량, 높은 정밀도, 높은 신뢰성과 정확성
ㆍ이중 다이아프램(diaghragm)
ㆍ압력 범위 : 0 ~ 1/0~2/0-3/0 ~ 3.5/0 ~ 5 MPa
ㆍDC 출력
ㆍ전압 출력형